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激光清洗振荡过程：
短脉冲作用下，材料升温和降温的过程都极其迅速。由于不同的材料，其热膨胀系数不同，因此在短脉冲激光照射下，表面污染物和基体会发生高频次的不同程度的热胀冷缩，产生振荡作用，使污染物从材料表面剥落。在此剥落过程中，可能不会发生材料的汽化，也不一定会产生等离子体，而是依靠振荡作用下，在污染物与基材界面形成的剪切力破坏了污染物与基材的结合。
研究表明，当激光的入射角稍微加大时，可以增加激光与颗粒污染物和基材界面的接触，降低激光清洗的阈值，振荡作用更加明显，清洗效率更高。但是入射角也不宜过大，太大的入射角会降低作用在材料表面的能量密度，减弱激光的清洗能力。
